[发明专利]光刻胶喷嘴及利用该喷嘴确定光刻胶喷涂中心的方法在审
| 申请号： | 201210544221.6 | 申请日： | 2012-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN103869624A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 周敏祺;陈群琦 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;B05B1/00 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 刘昌荣 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光刻胶喷嘴，该喷嘴的内部安装有光纤，外部带有镭射光源，喷嘴侧面开槽，光纤经由槽引出，与镭射光源连接。本发明还公开了利用上述光刻胶喷嘴确定光刻胶喷涂中心的方法，步骤包括：1）在晶圆的中心位置制作对准标记；2）将晶圆传送至涂布工艺单元；3）装上光刻胶喷嘴，移至晶圆上方；4）打开镭射光源，调整光刻胶喷嘴的位置，使镭射光斑位于晶圆对准标记的中心。本发明利用晶圆中心的对准标记和喷嘴射出的镭射光斑来确定光刻胶的喷涂中心位置，不仅精确，而且高效。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 喷嘴 利用 确定 喷涂 中心 方法 | ||
【主权项】：
一种光刻胶喷嘴，其特征在于，喷嘴的内部安装有光纤，外部带有镭射光源，喷嘴的侧面开槽，光纤经由槽引出，与镭射光源连接。
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