[发明专利]一种原位光学检测装置

摘要

本发明公开一种原位光学检测装置，应用于原子层沉积设备，包括光学测试系统和光学镜头配套组件，光学测试系统设置在原子层沉积设备的反应腔室外部，光学镜头配套组件包括镜头腔和设置在镜头腔内的光学镜头、转角组件和光学镜头延长管，转角组件两端分别连接光学镜头和光学镜头延长管；光学测试系统通过光学组件与光学镜头延长管连接，形成测试光路；镜头腔通过第一法兰组件固定在反应腔室的侧壁上。本发明可进行光学无损检测，并且可以在光学原位检测的辅佐下控制薄膜初始生长阶段的模式。同时，在原子层沉积系统中，可进一步的设计和开发新的人工改性半导体材料，为各种高质量、具有特异性能的二维薄膜的制备，提供有力的理论及实验基础。

主权项

一种原位光学检测装置，应用于原子层沉积设备，其特征在于：包括光学测试系统和光学镜头配套组件，所述光学测试系统设置在原子层沉积设备的反应腔室外部，所述光学镜头配套组件包括镜头腔和设置在所述镜头腔内的光学镜头、转角组件和光学镜头延长管，所述转角组件两端分别连接所述光学镜头和所述光学镜头延长管；所述光学测试系统通过光学组件与所述光学镜头延长管连接，形成测试光路；所述镜头腔通过第一法兰组件固定在所述反应腔室的侧壁上；所述光学镜头为高精度长焦镜头；所述光学镜头配套组件还包括波纹管和伸缩组件，所述波纹管设置在所述镜头腔和所述第一法兰组件之间，所述伸缩组件设置在所述光学镜头延长管的外端，所述波纹管在所述伸缩组件进行伸缩位移时对应进行同步伸缩；所述光学测试系统包括光源、收集系统、分光系统和检测系统；所述光源，用于发出入射光信号；所述收集系统，用于将入射光信号入射至待测样品表面，之后所述待测样品表面发出多种待测信号；所述分光系统，用于滤除所述待测信号中的干扰光学信息；所述检测系统，用于对捕获的待测信号进行检测。