[发明专利]一种氧化锌薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种氧化锌薄膜的制备方法，包括如下步骤：（1）向放置衬底的原子层沉积设备反应腔中通入含锌前驱体源，含锌前驱体源中的锌原子吸附于衬底表面；（2）通入含氮前驱体源，然后通过等离子体将含氮前驱体源电离，或将经过等离子体电离的含氮前驱体源通入反应腔中，电离后含氮前驱体源中的氮原子部分沉积，与衬底表面的锌原子形成氮锌共价键；（3）重复步骤（1）和步骤（2）即可逐层生长氮化锌薄膜；（4）将氮化锌薄膜进行热氧化，或者向反应腔中通入含氧前驱体源，获得氧化锌薄膜。本发明通过等离子体将氮源引入原子层沉积系统，先获得带隙可调控的优质氮化锌薄膜，再以氮化锌薄膜为原料制备优质P型氧化锌薄膜。

主权项

一种氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）将衬底放置于原子层沉积设备反应腔中；（2）向所述原子层沉积设备反应腔中通入含锌前驱体源，所述含锌前驱体源中的锌原子吸附于所述衬底表面；（3）向所述原子层沉积设备反应腔中通入含氮前驱体源，然后通过等离子体将所述含氮前驱体源电离，电离后所述含氮前驱体源中的氮原子部分沉积，与所述衬底表面的锌原子形成氮锌共价键；或，通过等离子体将含氮前驱体源电离，然后将电离的所述含氮前驱体源通入所述原子层沉积设备反应腔中，电离后所述含氮前驱体源中的氮原子部分沉积，与所述衬底表面的锌原子形成氮锌共价键；（4）重复所述步骤（2）和步骤（3）即可逐层生长氮化锌薄膜；（5）将所述氮化锌薄膜进行热氧化，或者向所述原子层沉积设备反应腔中通入含氧前驱体源，实现氧替位氮的有效掺杂，得到氧化锌薄膜。