[发明专利]一种用于反应腔的基板加热及传输装置

摘要

本发明公开了一种用于反应腔的基板加热及传输装置，包括安装在反应腔侧壁上的滚轮传动装置和设置在反应腔底部的升降支撑装置，其中，所述滚轮传动装置包括仅支持转动的磁流体密封传动装置及受其制动的传输滚轮，所述传输滚轮通过传输垫板运输基板；所述升降支撑装置包括加热板托架及控制其运动的升降气缸，所述加热板托架上设有加热板。本发明通过在装置中引入传输垫板，从而大大降低了基板的破碎率，可靠性高；同时大大简化了装置结构，降低了生产难度以及生产成本，应用前景广阔。

主权项

一种用于反应腔的基板加热及传输装置，其特征在于：包括安装在反应腔（1）侧壁上的滚轮传动装置和设置在反应腔（1）底部的升降支撑装置，其中，所述滚轮传动装置包括仅支持转动的磁流体密封传动装置（2）及受其制动的传输滚轮（3），所述传输滚轮（3）通过传输垫板（4）运输基板；所述升降支撑装置包括加热板托架（5）及控制其运动的升降气缸（6），所述加热板托架（5）上设有加热板（7）。