[发明专利]用于硼扩散的涂布液有效
| 申请号： | 201210548232.1 | 申请日： | 2012-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN103059666B | 公开（公告）日： | 2017-04-12 |
| 发明（设计）人： | 月形信太郎;松冈敏文;渡部武纪;大塚宽之 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C09D129/04 | 分类号： | C09D129/04;C09D129/14;C09D131/04;C09D7/12;H01L31/18 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 任宗华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种涂布液，其包括硼化合物、有机粘结剂、硅化合物、氧化铝前体，以及水和/或有机溶剂，该涂布液用于将硼扩散到硅衬底中以形成p型扩散层。将该涂布液旋涂到衬底上以形成具有足够量杂质的均匀涂层，由此在其上形成具有平面均匀性的p型扩散层。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 扩散 涂布液 | ||
【主权项】：
一种用于将硼扩散到硅衬底中以形成p型扩散层的涂布液，其包括0.5‑4wt％硼化合物、0.5‑4wt％有机粘结剂、0.5‑5wt％硅化合物、0.5‑8wt％能经热处理形成氧化铝膜的化合物的氧化铝前体、以及77‑93wt％水和/或有机溶剂，该氧化铝前体为氢氧化铝或氯化铝。
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C09 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
C09D 涂料组合物，例如色漆、清漆或天然漆；填充浆料；化学涂料或油墨的去除剂；油墨；改正液；木材着色剂；用于着色或印刷的浆料或固体；原料为此的应用
C09D129-00 基于有1个或多个不饱和脂族基化合物的均聚物或共聚物的涂料组合物，其中每个不饱和脂族基只有1个碳-碳双键，并且至少有1个是以醇、醚、醛、酮、醛缩醇或酮缩醇基为终端；基于不饱和醇与饱和羧酸的酯的水解聚合物
C09D129-02 .不饱和醇的均聚物或共聚物
C09D129-10 .不饱和醚的均聚物或共聚物
C09D129-12 .不饱和酮的均聚物或共聚物
C09D129-14 .由不饱和醛缩醇或酮缩醇聚合，或由不饱和醇聚合物经后处理得到的醛缩醇或酮缩醇的均聚物或共聚物
C09D129-04 ..聚乙烯醇；不饱和醇与饱和羧酸的酯的部分水解的均聚物或共聚物
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