[发明专利]用于形成细微图案的水溶性树脂组成物及利用其形成细微图案的方法

摘要

本发明涉及一种在形成接触孔图案的光阻膜上进行涂抹及热处理以减少接触孔的大小的用于形成细微图案的水溶性树脂组成物，所述组成物包括：用下面的[化学式1]标示的水溶性聚合物及第1水溶性溶剂，[化学式1]其中，上述[化学式1]中，R₁、R₂、R₃、R₄和R₆各为包括独立的氢、醚基、羟基、酯基、羰基、乙酰基、环氧基、腈基、胺基、内酯基或醛基的C_1-30的烷基或C_3-30的环烷基，在这里R₃≠R₄，并且R₅、R₇、R₈、R₉、R₁₀各为独立的氢或甲基，n是0至5的整数，a是0.05至0.5的实数，b、c、d和e分别是0.7以下的实数，a、b、c、d和e满足a+b+c+d+e＝1的条件。

主权项

一种减小接触孔的大小的方法，所述方法通过在形成有接触孔图案的光阻膜上涂抹溶液聚合形成的共聚物后进行热处理来减少接触孔的大小，所述溶液包括含降冰片烯基单体与末端的氧部分上包含具有相互不同的官能团的两种含(甲基)丙烯酸酯基单体。