[发明专利]用于匹配器的传感器及具有其的匹配器、等离子体设备

摘要

本发明公开了一种用于匹配器的传感器、匹配器及等离子体设备。传感器包括：金属柱体、绝缘套、接地壳、环状件、感应线圈和电路板，绝缘套套设在金属柱体的外周面上。接地壳套设在绝缘套外面。环状件套设在绝缘套外面且位于接地壳内。感应线圈套设在环状件外面且位于接地壳内。电路板套设在环状件外面且位于接地壳内，其中在绝缘套的轴向剖面内，顺着绝缘套的表面从绝缘套的一个端面的内沿到外沿的线段定义为第一线段，顺着绝缘套的表面从外沿到接地壳的线段定义为第二线段，其中绝缘套的至少一个端面的第一线段和第二线段中的至少一条线段为曲线。根据本发明实施例的传感器，可增加金属柱体到接地壳之间的最短绝缘距离，提高传感器的理论耐压值。

主权项

一种用于匹配器的传感器，其特征在于，包括：金属柱体；绝缘套，所述绝缘套套设在所述金属柱体的外周面上；接地壳，所述接地壳套设在所述绝缘套外面；环状件，所述环状件套设在所述绝缘套外面且位于所述接地壳内；感应线圈，所述感应线圈套设在所述环状件外面且位于所述接地壳内；和电路板，所述电路板套设在所述环状件外面且位于所述接地壳内，在所述绝缘套的轴向剖面内，顺着所述绝缘套的表面从所述绝缘套的一个端面的内沿到外沿的线段定义为第一线段，顺着所述绝缘套的表面从所述外沿到所述接地壳的线段定义为第二线段；其中所述绝缘套的上端面的第一线段、上端面的第二线段、下端面的第一线段以及下端面的第二线段中至少有一条线段为曲线。