[发明专利]双向闸阀和具有双向闸阀的衬底加工系统

摘要

公开了一种双向闸阀和具有双向闸阀的衬底加工系统。双向闸阀包括：阀室，其具有与第一室联接的第一入口、与第二室联接的第二入口以及可打开且可关闭阀室盖；移动模块，具有用于密封第一入口的第一密封板、用于密封第二入口的第二密封板以及第一和第二密封板安装到其上的移动模块主体；推-拉模块，具有推-拉模块主体、第一操作主体和第二操作主体；第一驱动装置；第二驱动装置；以及第三驱动装置，其用于使推-拉模块在操作位置和备用位置之间移动，其中，当推-拉模块被第三驱动装置移动至操作位置时，第一操作主体由第一驱动装置操作或第二操作主体由第二驱动装置操作以便选择性地密封第一入口和第二入口之一。

主权项

一种双向闸阀，包括：阀室，其具有与第一室联接的第一入口、与第二室联接的第二入口以及可打开且可关闭的室盖；移动模块，其具有用于密封所述第一入口的第一密封板、用于密封所述第二入口的第二密封板以及所述第一和第二密封板安装到其上的移动模块主体；推‑拉模块，其具有推‑拉模块主体、第一操作主体以及第二操作主体，所述推‑拉模块主体与所述移动模块主体联接以便所述移动模块主体能够线性移动，所述第一操作主体用于在第一入口方向上移动所述移动模块以便所述第一密封板密封所述第一入口，所述第二操作主体用于在第二入口方向上移动所述移动模块以便所述第二密封板密封第二入口；第一驱动装置，其用于驱动所述第一操作主体；第二驱动装置，其用于驱动所述第二操作主体；以及第三驱动装置，其用于在操作位置和备用位置之间移动所述推‑拉模块，其中，当所述推‑拉模块被所述第三驱动装置移动至所述操作位置时，所述第一操作主体由所述第一驱动装置操作或者所述第二操作主体由所述第二驱动装置操作，以便选择性地密封所述第一入口和第二入口中的一个入口。