[发明专利]探针卡和强制空气冷却探针头组件

摘要

本发明涉及探针卡和强制空气冷却探针头组件，具体涉及一种探针卡，其在加热环境中被垂直地安装成大致正交于接受寿命测试的晶片，以限制探针卡暴露到来自于晶片夹盘的热量。该探针卡及探针头组件被安装到支撑轨道上，该支撑轨道具有一个或多个通道，用于使冷空气流到探针头组件及探针卡，且同时其保护挠曲电缆不受热卡盘影响。冷空气流扰动从加热卡盘向上流到探针卡及探针头的对流热空气流，并促进了探针卡和探针头的冷却。

主权项

一种探针卡，通常被安装成垂直于加热的受测装置以在测试过程中减少对探针卡的热传递，所述探针卡包括：a) 印刷电路板，b) 尖端组件，其包括在电路板一端上用于接合受测装置的多个探针尖端，c) 在电路板的相对端上的多个电触点，d) 电路板上的导电图形，其用于将电路板一端上的尖端电连接到电路板相对端上的电触点，e) 紧固件，其用于将受测装置上方的支承件与大致垂直对准了受测装置的印刷电路板相接合，其中，大致垂直的对准在测试过程中减少从加热的受测装置到印刷电路板的热传递，和f) 贯穿印刷电路板的多个开口，其用于促进冷却空气流动，以便冷却探针卡。