[发明专利]新型串联式线圈电磁能量采集器有效
| 申请号： | 201210551994.7 | 申请日： | 2012-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN103011061A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 张海霞;李忠亮;韩梦迪 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;H02K35/02;C25D3/56 |
| 代理公司： | 北京市商泰律师事务所 11255 | 代理人： | 毛燕生 |
| 地址： | 100871 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及微机械系统制造领域，具体涉及微纳米加工技术领域，尤其涉及一种可集成化加工的振动能量采集器的制造方法，包括任选的处理基底；电镀Cu线圈；电镀Cu支撑柱；电镀Cu振动板与折形梁；电镀永磁体阵列；去胶，去种子层切割得到电磁式能量采集器。这种能量采集器能够通过线圈的串联来提高输出电压。通过永磁体CoNiMnP合金的制备可以实现整体集成化加工的要求。同时新结构的设计使得能量采集器的输出电压有较大的提升，使得采集能量的效率得到了极大的提升。同时，通过改变永磁体阵列的几何尺寸和摆放位置，也可以实现对能量采集器的优化。通过振动板与折形梁的厚度和长度的改变，可以实现对输出电压和谐振频率的改变。 | ||
| 搜索关键词： | 新型 串联式 线圈 电磁 能量 采集 | ||
【主权项】：
一种采用微纳加工技术来制备电磁式能量采集器的方法，其特征在于按顺序包括以下步骤：（A）任选的处理基底；（B）电镀Cu线圈；（C）电镀Cu支撑柱；（D）电镀Cu振动板与折形梁；（E）电镀永磁体阵列；（F）去胶，去种子层切割得到电磁式能量采集器。
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