[发明专利]电可编程熔丝结构有效
| 申请号： | 201210552992.X | 申请日： | 2012-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN103872011A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 张海洋;李天慧;舒强 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/525 | 分类号： | H01L23/525 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种电可编程熔丝结构，不同于现有技术一般采用矩形或正方形的阴极区，本发明提出采用椭圆形的阴极区，且该熔丝连接区域连接在椭圆的短轴端点，如此，实现了采用较小的阴极区面积最大程度承载爆裂残留物，使得残留物不易溅入周围电路，且由于面积较小，有利于器件小型化。 | ||
| 搜索关键词： | 可编程 结构 | ||
【主权项】：
一种电可编程熔丝结构，包括：阳极区，其上具有第一接触窗，所述第一接触窗适于在所述熔丝结构的编程过程中耦接高电压；阴极区，其上具有第二接触窗，所述第二接触窗适于在所述熔丝结构的编程过程中耦接低电压；熔丝连接区，其一端连接阳极区，另一端连接阳极区；其特征在于，所述阴极区为椭圆状，所述熔丝连接区连接在该椭圆的短轴端点。
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