[发明专利]阻变存储器及其制备方法无效
申请号: | 201210555373.6 | 申请日: | 2012-12-19 |
公开(公告)号: | CN103035840A | 公开(公告)日: | 2013-04-10 |
发明(设计)人: | 蔡一茂;殷士辉;黄如;方亦陈 | 申请(专利权)人: | 北京大学 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00;G11C13/00 |
代理公司: | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人: | 俞波;许伟群 |
地址: | 100871*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明实施例公开了一种阻变存储器及其制备方法。所述阻变存储器包括:底电极、阻变层、顶电极,所述阻变层位于所述底电极之上;所述顶电极位于所述阻变层之上;所述底电极之上设置有导电突起,所述导电突起嵌在所述阻变层内,且所述导电突起顶部宽度小于底部宽度。本发明实施例还公开了一种阻变存储器的制备方法。本发明实施例所提供的阻变存储器及其制备方法,通过在底电极上设置导电突起,可以产生“避雷针”效应,使得阻变层中电场集中分布在导电突起的附近,极大的增加了导电细丝在导电突起处生成的概率,使导电细丝的生成不再是随机的,确保了阻变存储器中各个参数的稳定性,从而大大提高了阻变存储器工作的可靠性和稳定性。 | ||
搜索关键词: | 存储器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种阻变存储器,其特征在于,包括底电极、阻变层、顶电极,所述阻变层位于所述底电极之上;所述顶电极位于所述阻变层之上;所述底电极之上设置有导电突起,所述导电突起嵌在所述阻变层内,且所述导电突起顶部宽度小于底部宽度。
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