[发明专利]一种蓝宝石表面化学机械平整化加工方法无效
| 申请号： | 201210556444.4 | 申请日： | 2012-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN103878662A | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 顾小玲 | 申请（专利权）人： | 江苏天恒纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B9/16 | 分类号： | B24B9/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 226000 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蓝宝石表面化学机械平整化加工方法，包括以下步骤：粘片，粗磨，细磨，粗抛，精抛。本发明所述的一种蓝宝石表面化学机械平整化加工方法，使蓝宝石在切割时表面平整度得到加强，降低了加工成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 表面 化学 机械 平整 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种蓝宝石表面化学机械平整化加工方法，其特征在于：包括以下步骤：A．粘片 将蓝宝石片长有器件的一面用粘片设备粘在玻璃片上；B．粗磨 利用粗磨机将蓝宝石衬底的厚度减薄至150μm左右，粗糙度为2.0μm左右；C．细磨 用细磨机将蓝宝石衬底的厚度减薄至90~100μm，粗糙度为0.5μm左右，厚度均匀度在2.0μm以内；D．粗抛 用粗抛机和粗抛液对蓝宝石衬底进行抛光，粗糙度0.1μm，厚度均匀度1.0μm以内；E．精抛 用精抛机和精抛液对蓝宝石衬底进行抛光，使粗糙度到20μm以下。
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