[发明专利]一种腔室气流控制系统及方法有效
| 申请号： | 201210556490.4 | 申请日： | 2012-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN103041660A | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | 张明;徐俊成;马嘉 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/46 | 分类号： | B01D46/46 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹 |
| 地址： | 100015 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了半导体制造技术领域，特别涉及一种腔室气流控制系统及方法。本发明包括PCC控制器和至少一个腔室控制单元；腔室控制单元包括压力传感器、风机过滤器、和所述风机过滤器连接的状态检测单元、与所述压力传感器、风机过滤器和状态检测单元连接的数据处理单元、和所述数据处理单元连接的数据传输单元。本发明能够对腔室内的气体压力进行实时控制，使得腔室内的气体压力维持在设定值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气流 控制系统 方法 | ||
【主权项】：
一种腔室气流控制系统，其特征是，该系统包括：至少一个腔室控制单元，用于根据PCC控制器的控制指令对腔室的气体压力进行控制，所述腔室控制单元之间通过网线串联；和所述腔室控制单元连接的PCC控制器，用于接收所述腔室的数据并向所述腔室控制单元发送控制指令。
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