[发明专利]纳米压印平版印刷设备和方法无效
| 申请号： | 201210558404.3 | 申请日： | 2012-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN103149796A | 公开（公告）日： | 2013-06-12 |
| 发明（设计）人： | 赵暎泰;朴银儿;李性勋;李淳源 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 刘光明;穆德骏 |
| 地址： | 韩国京畿道*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开纳米压印平版印刷设备和方法。一种纳米压印平版印刷设备包括印模，该印模包括主体，该主体具有第一表面和第二表面，该第一表面具有要在衬底上压印的图案，并且该第二表面具有至少一个极子和至少一个致动器，该至少一个致动器被配置为向该至少一个极子施加力，以将该主体变形。该设备包括固定级，该固定级被配置为支撑被从印模转印图案的衬底。该设备进一步包括控制器，该控制器被配置为驱动该至少一个致动器以向该至少一个极子施加力，以将该印模变形，并且校正该印模和该衬底之间的对齐误差。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 压印 平版印刷 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种纳米压印平版印刷设备，包括：印模，所述印模包括主体，所述主体具有第一表面和第二表面，所述第一表面具有要在衬底上压印的图案，并且所述第二表面具有至少一个极子和至少一个致动器，所述至少一个致动器被配置为向所述至少一个极子施加力，以将所述主体变形；固定级，所述固定级被配置为支撑被从所述印模转印图案的所述衬底；以及控制器，所述控制器被配置为驱动所述至少一个致动器以向所述至少一个极子施加力以将所述印模变形，并且校正所述印模和所述衬底之间的对齐误差。
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