[发明专利]在常温下检测气体的基于柔性衬底的敏感膜的制备方法有效
| 申请号： | 201210558635.4 | 申请日： | 2012-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN103033538A | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 李冬梅;詹爽;梁圣法;陈鑫;李小静;张浩;罗庆;谢常青;刘明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制备基于柔性衬底的在常温下检测气体的敏感膜材料的方法，包括：选取一柔性衬底，并清洗该柔性衬底；在该柔性衬底表面涂敷一层光刻胶，对该光刻胶进行光刻显影，在该柔性衬底表面形成电极图形；在表面具有光刻胶及电极图形的柔性衬底上依次沉积Cr和Au；剥离该柔性衬底上的光刻胶及光刻胶上沉积的Cr和Au，形成Au电极；以及在已形成Au电极的该柔性衬底上沉积一层SnO2-PDDAC敏感膜。利用本发明，通过在Cr、Au薄膜上淀积一层SnO2-PDDAC薄膜，以此在常温下检测低浓度的醇类及氨气这类气体。SnO2与PDDAC溶液的混合一方面增强了敏感材料与柔性衬底的粘合，同时还提高了SnO2在常温下对被测气体的响应。 | ||
| 搜索关键词： | 常温 检测 气体 基于 柔性 衬底 敏感 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种制备基于柔性衬底的在常温下检测气体的敏感膜材料的方法，其特征在于，包括：选取一柔性衬底，并清洗该柔性衬底；在该柔性衬底表面涂敷一层光刻胶，对该光刻胶进行光刻显影，在该柔性衬底表面形成电极图形；在表面具有光刻胶及电极图形的柔性衬底上依次沉积Cr和Au；剥离该柔性衬底上的光刻胶及光刻胶上沉积的Cr和Au，形成Au电极；以及在已形成Au电极的该柔性衬底上沉积一层SnO2‑PDDAC敏感膜。
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