[发明专利]测试分选机

摘要

本发明涉及测试分选机。根据本发明，利用多张匹配支撑安置于一张测试托盘的多个半导体元件使多个半导体元件电连接到测试器。因此，在交换或移动匹配板时，能够更加轻松地处理。

主权项

一种测试分选机，其特征在于，包括：测试托盘，在经过装载位置、测试位置以及卸载位置而再次连接到装载位置的预定的循环路径上循环，且能够安置多个半导体元件；装载装置，当所述测试托盘位于装载位置时，将多个半导体体元件装载到测试托盘；均热室，设置成对借助所述装载装置完成装载而以安置于所述测试托盘的状态移送过来的多个半导体元件进行预热或者预冷；测试室，设置成收容从所述均热室移送过来的M个测试托盘，并将安置于所述M个测试托盘的多个半导体元件电连接到测试器；推动装置，设置成通过将所述M个测试托盘紧贴到测试器侧而将安置于所述M个测试托盘的多个半导体元件电连接到测试器侧；退均热室，设置成使从所述均热室移送过来的安置于所述测试托盘的多个半导体恢复到常温；卸载装置，从由所述退均热室移送到卸载位置的所述测试托盘卸载多个半导体元件，所述推动装置包括：N个匹配板，设置成能够沿测试器侧的方向进退移动，以对安置在收容于所述测试室的M个测试托盘的多个半导体元件进行支撑而使多个半导体元件与测试器电连接，其中，N＝a×M，a为大于1的自然数；支撑部件，设置成同时支撑所述N个匹配板，以使所述N个匹配板能够同时沿测试器侧的方向进退，且能够与所述N个匹配板一起沿测试器侧的方向进退移动；以及驱动源，提供用于使所述支撑部件沿测试器侧的方向进退移动的驱动力。