[发明专利]待曝光基材及底片的对位方法及影像检测对位系统有效

专利信息
申请号: 201210559900.0 申请日: 2012-12-20
公开(公告)号: CN103034072A 公开(公告)日: 2013-04-10
发明(设计)人: 徐嘉伟;王启毓;张茂和 申请(专利权)人: 志圣科技(广州)有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20;G03F9/00
代理公司: 广州市越秀区海心联合专利代理事务所(普通合伙) 44295 代理人: 任琳
地址: 510850 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开一种待曝光基材及底片的对位方法及其影像检测对位系统,旨在提供一种在待曝光基材及底片中,无需特殊的对位标靶,就可精确对位的方法及检测系统;其技术要点:至少有二组摄影单元、一套调整机构和一个控制装置配合运作,该方法包括下述步骤:(a)每个摄影单元分别拍摄一张影像,每张影像的视野范围包括基材边缘及底片边界;(b)控制装置定位出步骤(a)中影像的基材边缘及底片边界;(c)控制装置根据步骤(b)中定位的基材边缘及该底片边,计算一偏移量;(d)控制装置根据步骤(c)计算的偏移量驱动调整机构,并依次调整基材及该底片的相对位置,使该基材及该底片彼此对齐;属于影像技术领域。
搜索关键词: 曝光 基材 底片 对位 方法 影像 检测 系统
【主权项】:
一种待曝光基材及底片的对位方法,其特征在于,至少有二组摄影单元、一套调整机构和一个控制装置配合运作,所述的控制装置控制调整机构以调整该基材及该底片的相对位置,该方法包括下述步骤:(a)每个摄影单元分别拍摄一张影像,每张影像的视野范围包括基材边缘及底片边界;(b)控制装置定位出步骤(a)中影像的基材边缘及底片边界;(c)控制装置根据步骤(b)中定位的基材边缘及该底片边,计算一偏移量;(d)控制装置根据步骤(c)计算的偏移量驱动调整机构,并依次调整基材及该底片的相对位置,使该基材及该底片彼此对齐。
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