[发明专利]对电连接中具有高迁移率的组分的束缚无效

专利信息
申请号: 201210560975.0 申请日: 2008-06-05
公开(公告)号: CN103050420A 公开(公告)日: 2013-04-17
发明(设计)人: 约翰·特雷扎 申请(专利权)人: 丘费尔资产股份有限公司
主分类号: H01L21/60 分类号: H01L21/60;B23K35/30
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 吕雁葭
地址: 美国特*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 一种制造电触点的方法,涉及:在电连接的位置设置阻隔材料,在阻隔材料上设置导电的接合金属,导电的接合金属具有扩散的可动成分,选择阻隔材料的体积和扩散的可动成分的体积,使得阻隔材料的体积至少是阻隔材料的体积和扩散的可动成分的体积的组合体积的20%。电连接在两个触点之间具有导电的接合金属,设置于导电的接合金属至少一侧的阻隔材料,以及位于在阻隔材料和导电的接合金属之间的交界面的合金。合金包括至少一些阻隔材料,至少一些接合金属和可动材料。
搜索关键词: 连接 具有 迁移率 组分 束缚
【主权项】:
一种在一对电连接点之间形成电连接的方法,所述方法包括:将具有组成成分的第一浓度的第一接合金属加热到至少大约所述第一接合金属的熔点,其中第一接合金属包括扩散的可动成分;当加热所述第一接合金属时,接近所述第一接合金属设置能够与所述第一接合金属相互作用的材料,以便将组成成分的所述第一浓度改变成组成成分的第二浓度,使得所述第一接合金属将变成第二接合金属,其中能够与所述第一接合金属相互作用的材料包括在所述加热期间束缚所述扩散的可动成分的实质部分的阻隔材料,并且其中所述第二接合金属的熔点高于所述第一接合金属的熔点;以及将所述一对电连接点和第二接合金属冷却至所述第一接合金属的熔点以下。
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