[发明专利]一种液相自组装技术制备图案化的ZnO薄膜的方法

摘要

一种液相自组装技术制备图案化的ZnO薄膜的方法，以Zn(NO3)2·6H2O和NH4F为原料溶于蒸馏水中配制成前驱液，将基板浸泡在OTS-甲苯溶液中制备OTS-SAMs膜，将OTS-SAMs膜干燥后于紫外光下照射得到表面具有功能化的OTS-SAMs膜的基板，在70℃～80℃下将基板的功能化OTS-SAMs膜的一面朝下悬浮于前驱液表面，使功能化OTS-SAMs膜与前驱液接触，通过反向吸附法沉积20h制备出非晶态ZnO薄膜，将非晶态薄膜干燥后在300℃保温退火制备出晶化的图案化的ZnO薄膜。本发明工艺简单，实验条件要求较低，得到的ZnO薄膜均匀致密。将本发明应用于图案化ZnO薄膜的制备，在微电子领域具有广阔的应用前景。

主权项

一种液相自组装技术制备图案化的ZnO薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一：前驱液的配置：将Zn(NO3)2·6H2O和NH4F溶于蒸馏水中，配成Zn(NO3)2·6H2O浓度为0.05mol/L，NH4F浓度为0.2~0.3mol/L的混合液，调节混合液的pH值为5.5，室温下搅拌混合液至完全澄清，得到前驱液；步骤二：基板的功能化：将基板洗涤干净，于体积浓度为1%的OTS‑甲苯溶液中浸泡制备OTS‑SAMs膜，将OTS‑SAMs膜干燥去除有机物后于紫外光下照射，得到表面具有功能化的OTS‑SAMs膜的基板；步骤三：薄膜的沉积：将表面具有功能化的OTS‑SAMs膜的基板的功能化OTS‑SAMs膜的一面朝下悬浮于前驱液表面，使功能化OTS‑SAMs膜与前驱液接触，在70℃～80℃沉积制备出非晶态薄膜；步骤四：薄膜的晶化：将制备的非晶态薄膜干燥后放入马弗炉中，于300℃保温退火120min得到晶化的图案化的ZnO薄膜。