[发明专利]一种形貌可控的一维硅纳米材料的制备方法

摘要

本发明属半导体微电子、纳电子技术领域，具体为一种形貌可控的一维硅纳米材料的制备方法。该方法以硅（Si）和一氧化硅（SiO）混合粉末为原料，在较高温度和较低气压条件下，通过添加稀土元素镧（La）作为一种特别的气化调节剂来调节硅的一维纳米材料的形貌。该方法制备出的纳米材料的形貌主要有硅纳米线、硅纳米管和硅纳米链，通过调节镧粉在混合粉末中的比例，可以得到以上三种不同形貌的硅纳米材料。该调制方法工艺简单，操作简便，与现行使用设备的兼容性强，不用大幅提升成本，能够满足现代工业的基本要求。

主权项

一种形貌可控的一维硅纳米材料的制备方法，其特征在于具体步骤如下：将硅粉、一氧化硅粉和气化调节剂稀土元素镧粉置于陶瓷舟中，得混合物，其中一氧化硅粉和硅粉的质量比值为1.2～1.8，镧粉的在混合物中的质量比例为0~10%（其中0表示不含有镧粉），将陶瓷舟置于高温管式炉中，高温管式炉在1300℃恒温2~3h；将石英舟置于高温管式炉的低温区作为产物容器，以10~30Torr氩气作为载气，流速控制在60~80sccm，最终产物沉积在石英舟衬底上，得到不同形貌的一维硅纳米材料。