[发明专利]一种微孔的清洗方法有效
| 申请号： | 201210569621.2 | 申请日： | 2012-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN103008293A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 佟艳群;姚红兵;张署光;张罗;王浩 | 申请（专利权）人： | 江苏大学 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 楼高潮 |
| 地址： | 212013 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种微孔清洗方法，通过激光冲击靶材产生等离子体，将微孔置于等离子体羽中，激光冲击点和微孔轴心连线与入射激光方向夹角在30°-60°之间，所述等离子体羽长度大于微孔长度，宽度大于微孔宽度。本发明采用激光冲击等离子羽的方式对微孔进行清洗，可以避免由于清洗剂产生的再次污染，且仅对微孔内壁的表面起作用而不会侵蚀内部，有效去除杂质或表面氧化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微孔 清洗 方法 | ||
【主权项】：
一种微孔清洗方法，其特征在于，通过激光垂直冲击靶材产生等离子体，将微孔置于等离子体羽中，激光冲击点和微孔轴心连线与入射激光方向夹角在30°‑60°之间，所述等离子体羽长度大于微孔长度，宽度大于微孔宽度。
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