[发明专利]质量分析装置及质量分析方法有效
申请号: | 201210570071.6 | 申请日: | 2012-12-25 |
公开(公告)号: | CN103177928A | 公开(公告)日: | 2013-06-26 |
发明(设计)人: | 西村和茂;桥本雄一郎;杉山益之;山田益义;诸熊秀俊 | 申请(专利权)人: | 株式会社日立高新技术 |
主分类号: | H01J49/26 | 分类号: | H01J49/26;H01J49/16;H01J49/00;G01N27/68 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 丁文蕴;郑永梅 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供质量分析装置及质量分析方法,其能够同时实现有效的离子化和高灵敏度的质量分析。质量分析装置的特征在于,具备:离子源,包括第一电极、第二电极、和具有试样的导入部及排出部并且设置在所述第一电极与所述第二电极之间的电介质部;电源,对所述第一电极和所述第二电极的任一方施加交流电压,并且通过在所述第一电极与所述第二电极之间发生的放电对所述试样进行离子化;质量分析部,分析从所述排出部排出的离子;以及光照射部,对发生所述放电的区域照射光。 | ||
搜索关键词: | 质量 分析 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种质量分析装置,其特征在于,具备:离子源,包括第一电极、第二电极、和具有试样的导入部及排出部并且设置在所述第一电极与所述第二电极之间的电介质部;电源,对所述第一电极和所述第二电极的任一方施加交流电压,并且通过在所述第一电极与所述第二电极之间发生的放电对所述试样进行离子化;质量分析部,分析从所述排出部排出的离子;以及光照射部,对发生所述放电的区域照射光。
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