[发明专利]一种硅基差动石英加速度传感器

摘要

一种硅基差动石英加速度传感器，包括相对方向安装的两个硅基和双端固定石英音叉，硅基夹在上过载保护板和下过载保护板中间；硅基、双端固定石英音叉、上过载保护板及下过载保护板组成的结构置于电路板的孔中，双端固定石英音叉通过金丝穿过上过载保护板的通孔连接到电路板，双端固定石英音叉存在逆压电效应，采用电路激励振动，当有加速度作用于由挠性硅梁支撑的质量块时，两根双端固定石英音叉形成差动结构，传感器的输出信号是两者频率之差。当温度发生变化时，两根双端固定石英音叉同时受拉或受压，频率变化相同，相减之后可以抵消温度的影响，具有体积小，重量轻，数字信号输出和分辨率高的优点。

主权项

一种硅基差动石英加速度传感器，其特征在于，包括相对方向安装的两个硅基（1）和双端固定石英音叉（3），硅基（1）由挠性硅梁（2）和质量块（4）组成，硅基（1）上的质量块（3）通过两个挠性梁（2）与硅基(1)相连；双端固定石英音叉（3）的一个支座（13）固定在硅基(1)的一端，另外一个支座（13）固定在质量块（4）上，双端固定石英音叉（4）的两个叉齿（15）通过固定端（14）与支座（13）相连，叉齿（15）四周覆有电极；硅基（1）夹在上过载保护板（10）和下过载保护板（12）中间，上过载保护板（10）由通孔（7）和上盲孔（9）组成，下过载保护板（12）有下盲孔（8）；硅基（1）、双端固定石英音叉（3）、上过载保护板（10）及下过载保护板（12）组成的结构置于电路板（5）的孔（11）中，双端固定石英音叉（3）通过金丝（6）穿过上过载保护板（10）的通孔（7）连接到电路板（5）。