[发明专利]存储态真空电子器件残余气体的光谱检测装置及检测方法有效
| 申请号： | 201210574366.0 | 申请日： | 2012-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN103063579A | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 孙小菡;袁慧宇;吴晨 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01N21/25 | 分类号： | G01N21/25 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 211189 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种存储态真空电子器件残余气体的光谱检测装置，包括单光子计数器、光源、第一旋转平台、第二旋转平台、检测器、支架和计算机，支架位于第一旋转平台外侧，单光子计数器固定连接在支架上，单光子计数器的信号输出端与计算机的信号输入端连接；检测器通过支座固定连接在第一旋转平台上，检测器与真空电子器件阴极附近的漂移管相连通；光源固定连接在第二旋转平台上；第二旋转平台连接在第一旋转平台上，单光子计数器、光源和检测器到第一旋转平台的距离均相等。该光谱检测装置对存储态真空电子器件残余气体检测时，不会破坏真空电子器件。本发明还公开了该光谱检测装置的检测方法。该方法采用简单易行，检测结果准确度高。 | ||
| 搜索关键词： | 存储 真空 电子器件 残余 气体 光谱 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种存储态真空电子器件残余气体的光谱检测装置，其特征在于，该光谱检测装置包括单光子计数器（1）、光源（2）、第一旋转平台（3）、第二旋转平台（4）、检测器（5）、支架（6）和计算机（7），支架（6）位于第一旋转平台（3）外侧，单光子计数器（1）固定连接在支架（6）上，且单光子计数器（1）位于第一旋转平台（3）上方，单光子计数器（1）的信号输出端与计算机（7）的信号输入端连接；检测器（5）中相对的两个侧面为入光面（501）和出光面（502），入光面（501）和出光面（502）均由玻璃制成，检测器（5）通过支座固定连接在第一旋转平台（3）上，检测器（5）与真空电子器件阴极（8）附近的漂移管（9）相连通；光源（2）固定连接在第二旋转平台（4）上；第二旋转平台（4）连接在第一旋转平台（3）上，且第二旋转平台（4）可在第一旋转平台（3）上旋转；单光子计数器（1）、光源（2）和检测器（5）到第一旋转平台（3）的距离均相等。
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