[发明专利]一种薄膜晶体管无效
| 申请号： | 201210574980.7 | 申请日： | 2012-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN103022151A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 曲志乾;于正友;魏薇 | 申请（专利权）人： | 青岛盛嘉信息科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/336;H01L29/26 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 266071 山东省青岛市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种薄膜晶体管器件及其制作方法。本器件包括衬底11、源漏极19、有源层17、绝缘层15以及栅极13，其中有源层为含IIIB族金属氧化物。各结构层采用真空蒸发方法和溅射方法制备。可实现工艺大为简化，性能更加优良。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜晶体管 | ||
【主权项】：
一种薄膜晶体管，包括衬底、源漏极、有源层、绝缘层以及栅极，其中有源层为含IIIB族金属氧化物。
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