[发明专利]一种具有柔性关节的容器有效
| 申请号： | 201210575313.0 | 申请日： | 2012-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN103904004B | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 虞龙斌;陈妙娟;徐朝阳;王正友 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种一种容器，包括：一个腔体，一个盖体，所述盖体包括第一部分通过铰链固定到腔体，第二部分随铰链转动而相对腔体移动一个支撑臂包括第一端连接到腔体，第二端通过一个柔性关节连接到所述盖体，其中所述柔性关节包括一个本体和一个中心旋转轴，本体上还包括一个离心旋转轴，所述中心旋转轴固定到盖体上，所述支撑臂的第二端固定到所述离心旋转轴上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 柔性 关节 容器 | ||
【主权项】：
1.一种容器，包括：一个腔体，一个盖体，所述盖体包括第一部分通过铰链固定到腔体，第二部分随铰链转动而相对腔体移动；一个支撑臂包括第一端连接到腔体，第二端通过一个柔性关节连接到所述盖体，其中所述柔性关节包括一个本体和一个中心旋转轴，本体上还包括一个离心旋转轴，所述中心旋转轴固定到盖体上，所述支撑臂的第二端固定到所述离心旋转轴上；所述柔性关节本体上包括一个限位槽或一限位突出部，与盖体上的限位突出部或限位槽配合限制所述本体的旋转角度。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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