[发明专利]低温泵系统、超低温系统、压缩机单元的控制装置及其控制方法

摘要

本发明提供一种低温泵系统、超低温系统、压缩机单元的控制装置及其控制方法，其能够通过用于超低温系统的压缩机单元的作用来有助于系统运行持续性的控制。本发明的压缩机控制器（168）具备：控制量运算部（176），运算包括第1控制量和第2控制量在内的至少2个控制量，所述第1控制量用于控制与用于使超低温装置产生寒冷的工作气体量相关联的第1控制对象的控制量，所述第2控制量用于控制与工作气体量相关联且不同于第1控制对象的第2控制对象并且与第1控制量通用的控制量；及选择部（186），基于至少2个控制量的比较，从包括第1控制对象和第2控制对象在内的至少2个控制对象中选择应控制的控制对象。

主权项

一种低温泵系统，其特征在于，具备：低温泵，具备低温板和用于冷却该低温板的制冷机；压缩机单元，用于将工作气体供给于所述制冷机；及控制部，用于选择性执行利用通用控制量的所述压缩机单元的至少2种运行控制中的任一种，所述至少2种运行控制包括：第1运行控制，以控制与供给气体量相关联的第1控制对象的方式，利用所述通用控制量来运行所述压缩机单元；及第2运行控制，以控制与供给气体量相关联且与所述第1控制对象不同的第2控制对象的方式，利用所述通用控制量来运行所述压缩机单元，所述控制部根据至少2个所述通用控制量的值的比较，从所述至少2种运行控制之中选择应执行的运行控制，所述至少2个通用控制量的值包括用于所述第1运行控制的所述通用控制量的值和用于所述第2运行控制的所述通用控制量的值。