[发明专利]光致抗蚀膜和使用该光致抗蚀膜的有机发光显示装置的制造方法有效
| 申请号： | 201210576915.8 | 申请日： | 2012-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN103631093B | 公开（公告）日： | 2018-03-20 |
| 发明（设计）人： | 朴宰贤;金珍郁;金玮镕;闵慧理;金玟知;孙荣兑;申英燮 | 申请（专利权）人： | 乐金显示有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/09 | 分类号： | G03F7/09;G03F7/004;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人： | 丁香兰,庞东成 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光致抗蚀膜和使用所述光致抗蚀膜的有机发光显示装置的制造方法。所述光致抗蚀膜包括支持膜上的光至热转换层，和所述光至热转换层上的热敏性聚合物层，其中，由于所述光致抗蚀膜包含热敏性聚合物，因而该光致抗蚀膜通过调节温度和使用脱离膜而容易脱离转移衬底。 | ||
| 搜索关键词： | 光致抗蚀膜 使用 有机 发光 显示装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种光致抗蚀膜，所述光致抗蚀膜由以下部分构成：支持膜；所述支持膜上的光至热转换层；和所述光至热转换层上的热敏性聚合物层；其中，所述热敏性聚合物层包含具有醚基的聚合物、具有醇基的聚合物或具有N‑取代的酰胺基的聚合物，所述热敏性聚合物在温度降至低于聚合物状态下的预定值时发生水和聚合物的相分离，但在温度高于所述预定温度的高温水溶液中可溶。
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