[发明专利]用于激光材料加工的经过色彩校正的F-θ物镜

摘要

一种F-θ物镜，该F-θ物镜针对1065nm到1075nm的波长范围进行色彩校正，并且适于1kW以上的高激光输出，具有六个独立的透镜L1到L6，其中该透镜由至少两种不同材料构成。

主权项

一种经过宽带色彩校正的并且热稳定的F‑θ物镜，其特征在于，该F‑θ物镜包括六个独立的透镜，这些独立的透镜中具有一个作为双凹透镜的第一独立的透镜L1，一个作为凹凸透镜的第二独立的透镜L2，一个作为双凸透镜的第三独立的透镜L3，一个作为平凸透镜的第四独立的透镜L4，一个作为双凸透镜的第五独立的透镜L5以及一个作为双凹透镜的第六独立的透镜L6，其中对于这些独立的透镜使用了至少两种不同的材料，这些材料对于1065nm到1075nm的波长范围具有尽可能低的光吸收，并且这些材料具有的折光率在这个波长范围内随温度在相反的方向上变化。