[发明专利]一种用于折反射式投影物镜的热效应控制装置有效
| 申请号： | 201210581990.3 | 申请日： | 2012-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN103901623A | 公开（公告）日： | 2014-07-02 |
| 发明（设计）人： | 朱立荣 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09;G02B27/00;G02B17/08;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于折反射式投影物镜的热效应控制装置，包括热效应校正光束产生装置、反射镜和挡光片，热效应校正光束产生装置出射的校正光束的数值孔径与投影物镜物方数值孔径一致，校正光束入射至投影物镜的前组的第一个镜片，在该镜片上，校正光束的位置、形状与经过掩模的有效成像光束的位置、形状关于X轴对称分布，且互不交叠，使镜片上的光能量呈对称分布，镜片表面由于热效应产生的形变也呈对称分布状态，校正光束由挡光片阻挡，而不入射至投影物镜的反射镜组上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 反射 投影 物镜 热效应 控制 装置 | ||
【主权项】：
一种用于折反射式投影物镜的热效应控制装置，所述热效应控制装置包括热效应校正光束产生装置、反射镜和挡光片，热效应校正光束产生装置出射的校正光束的数值孔径与投影物镜物方数值孔径一致，校正光束入射至投影物镜的前组的第一个镜片，在该镜片上，校正光束的位置、形状与经过掩模的有效成像光束的位置、形状关于X轴对称分布，且互不交叠，使所述镜片上的光能量呈对称分布，所述镜片表面由于热效应产生的形变也呈对称分布状态，所述校正光束由挡光片阻挡，而不入射至投影物镜的反射镜组上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备有限公司，未经上海微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210581990.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种侧架滑槽磨耗板拆卸装置
- 下一篇：安装自动焊轨道用的工具
