[发明专利]用于TOL、OGS触控上导电膜层激光刻蚀的装置及其方法

摘要

本发明涉及用于TOL、OGS触控上导电膜层激光刻蚀的装置及方法，激光器发出的激光经光闸进入扩束镜，经扩束镜扩束准直后光束进入全反镜片组调整光路，激光全部反射到振镜系统，并通过远心场镜准确控制激光聚焦到玻璃上的导电膜上，聚焦光斑在20um～40um；激光器和振镜系统经过通讯系统与工控机进行数据通信，将扫描图形转化为数字信号，图形转化在需要刻蚀的待加工件上，待加工件由真空吸附平台上吸附；由CCD对位观察系统将导入的定位标拍摄并抓取靶标，控制加工；激光蚀刻完成一个单元后，真空吸附平台移动下一个单元，激光再开始加工，如此反复，实现整个加工幅面的刻蚀。加工方式简洁，加工效率较高且无需耗材。

主权项

用于TOL、OGS触控上导电膜层激光刻蚀的装置，其特征在于：包含有激光器（1）、光闸（2）、扩束镜（3）、全反镜片组（4）、振镜系统（5）和远心场镜（6），所述激光器（1）的输出端布置有光闸（2），光闸（2）的输出端设置有扩束镜（3），扩束镜（3）的输出端布置有全反镜片组（4），全反镜片组（4）的输出端依次布置有振镜系统（5）和远心场镜（6），远心场镜（6）的输出端正对于真空吸附平台（11），所述真空吸附平台（11）的上方布置有CCD对位观察系统（7），所述真空吸附平台（13）的一侧布置有吹气系统（9），另一侧安装有集尘系统（8）；所述激光器（1）和振镜系统（5）均通过通讯系统（13）与工控机（12）相连。