[发明专利]蒸发台用的圆片放置夹具

摘要

本发明属于集成电路制造技术领域，是一种圆片背面金属化工艺用的夹具，具体地说是一种蒸发台用的圆片放置夹具，包括内沿设置台阶的环状本体，所述台阶上转动设置若干个环形手臂，特征在于：所述环形手臂包括上臂，上臂上设置有滑槽，紧定螺栓将下臂固定连接于滑槽下端，所述下臂端部设置圆片台阶。本发明蒸发台用的圆片放置夹具在不改变现有设备构造、不增加设备负担的前提下，为多种尺寸的硅片同时进行背面金属化工艺，提供了较好的解决办法，在减少运行成本及贵重靶材消耗的同时，工艺可靠性也能得到保证，可操作性强，本发明结构简单、巧妙、合理，可以有效装载不同尺寸规格的圆片。

主权项

一种蒸发台用的圆片放置夹具，包括圆片保护盖（11）、内沿设置台阶（2）的环状本体（1），所述台阶（2）上转动设置若干个环形手臂（3），其特征在于：所述环形手臂（3）包括上臂（4），上臂（4）上设置有滑槽（7），紧定螺栓（8）将下臂（5）固定连接于滑槽（7）下端，所述下臂（5）端部设置圆片台阶（9）。