[发明专利]一种利用准分子激光提高柔性AZO薄膜光电性能的方法无效
| 申请号： | 201210585439.6 | 申请日： | 2012-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN103074593A | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 邵景珍;方晓东;董伟伟;邓赞红 | 申请（专利权）人： | 中国科学院安徽光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | C23C14/58 | 分类号： | C23C14/58;C23C14/08 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 230031 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种利用准分子激光提高柔性AZO薄膜光电性能的方法，利用准分子激光器对柔性铝掺杂氧化锌（简称AZO）薄膜进行激光退火，从而提高其光电性能的方法。该方法包括首先利用脉冲激光沉积等方法在柔性衬底上生长一层AZO薄膜，接着利用准分子激光退火装置对该薄膜进行退火。本发明的特点是高功率脉冲激光束照射到AZO薄膜上，在极端的时间内薄膜表面达到很高的温度且不损伤柔性衬底材料，提高了薄膜的结晶程度，大幅度降低了薄膜的电阻率，使薄膜的光电性能得到改善。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 准分子激光 提高 柔性 azo 薄膜 光电 性能 方法 | ||
【主权项】：
一种利用准分子激光提高柔性AZO薄膜光电性能的方法，其特征在于：采用柔性衬底，并在柔性衬底上制备铝掺氧化锌薄膜，利用准分子激光退火装置对铝掺氧化锌薄膜进行退火处理，通过改变准分子激光退火装置出射激光束的参数来调节光束能量密度，从而使铝掺氧化锌薄膜达到最佳退火效果。
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