[发明专利]可动刀口装置有效
| 申请号： | 201210587402.7 | 申请日： | 2012-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN103901731A | 公开（公告）日： | 2014-07-02 |
| 发明（设计）人： | 方洁;李志龙 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种可动刀口装置，该可动刀口装置采用双运动层的布置方法，使X向刀片与Y向刀片之间不再存在互相干扰，提高了刀片运动时的安全性，并且该装置采用四个直线电机独立驱动四个刀片，使得该装置的电机负载较小，满足了高加速度的工作需求，无需增加下部刀片的厚度以增强其刚度，对于不同机型的接口适应性良好。 | ||
| 搜索关键词： | 刀口 装置 | ||
【主权项】：
一种可动刀口装置，应用于光刻工艺，所述可动刀口装置包括上部Y向刀片、下部Y向刀片、左侧X向刀片和右侧X向刀片，所述四片刀片组合形成狭缝窗口，外部照明光束通过所述狭缝窗口将掩膜版图形投影曝光到硅片上，其特征在于，还包括框架和四个直线电机，所述四片刀片与四个直线电机均安装于所述框架内，所述左侧X向刀片与右侧X向刀片呈X向排列，所述上部Y向刀片与下部Y向刀片呈Y向排列，所述左侧X向刀片和右侧X向刀片均位于X向运动层内，所述上部Y向刀片和下部Y向刀片均位于Y向运动层内，所述四片刀片分别通过所述四个直线电机独立驱动，所述左侧X向刀片和右侧X向刀片分别通过其对应直线电机的驱动在所述框架内沿X向运动，所述上部Y向刀片和下部Y向刀片分别通过其对应直线电机的驱动在所述框架内沿Y向运动。
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