[发明专利]可动镜片微调机构有效
申请号: | 201210587417.3 | 申请日: | 2012-12-28 |
公开(公告)号: | CN103901576A | 公开(公告)日: | 2014-07-02 |
发明(设计)人: | 彭云平;王洪尊;储兆祥;李素平 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G02B7/02 | 分类号: | G02B7/02;G03F7/20 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明揭露了一种可动镜片微调机构,其驱动单元包括第一电机和第二电机,执行单元包括柔性结构和固定铰链,所述柔性结构包括第一驱动端和第二驱动端,所述柔性结构通过固定铰链与底座转动连接,所述第一电机与所述第一驱动端连接,提供柔性结构水平方向的驱动力;所述第二电机与所述第二驱动端连接,以固定铰链作为支点提供柔性结构转动的驱动力。本发明提供的可动镜片微调机构可以实现可动镜片在水平方向的平移和镜片沿光轴的旋转,实现更优化的调节作用。 | ||
搜索关键词: | 镜片 微调 机构 | ||
【主权项】:
一种可动镜片微调机构,包括若干组微调单元,每组微调单元包括底座、驱动单元和执行单元,所述驱动单元驱动所述执行单元调整镜片座,其特征在于,所述驱动单元包括第一电机和第二电机,所述执行单元包括柔性结构和固定铰链,所述柔性结构包括第一驱动端和第二驱动端,所述柔性结构通过固定铰链与底座转动连接;所述第一电机与所述第一驱动端连接,提供柔性结构水平方向的驱动力;所述第二电机与所述第二驱动端连接,以固定铰链作为支点提供柔性结构转动的驱动力。
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