[发明专利]一种高纯甲基磺酸的纯化制备方法有效
申请号: | 201210588460.1 | 申请日: | 2012-12-29 |
公开(公告)号: | CN103103555A | 公开(公告)日: | 2013-05-15 |
发明(设计)人: | 孙江燕;梁重时;栾善东;王俊伟 | 申请(专利权)人: | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
主分类号: | C25B3/00 | 分类号: | C25B3/00 |
代理公司: | 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 | 代理人: | 贾慧琴 |
地址: | 201616 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种高纯甲基磺酸的纯化制备方法,该方法是采用电解槽,通过电解的方法纯化甲基磺酸,该电解槽包含:阴极,阳极,阴离子交换膜,和阳离子交换膜;该阴极材料选用不锈钢、钛、铂、镀铱钛板中的任意一种,该阳极材料选用石墨、不锈钢、钛、铂、镀铱钛板中的任意一种,阴离子交换膜邻近阳极,且阳离子交换膜邻近阴极,该阴离子交换膜和阳离子交换膜均为单向膜。本发明提供的甲基磺酸纯化方法可以大幅降低MSA中金属离子含量、氯离子和有机氯的浓度,所有金属离子含量都低于100ppb,部分金属离子含量低于10ppb,总氯的检测低于0.3ppm;方法简单易行,成本低,易于实现工业化,能耗低,环境污染小,具有非常大的市场前景。 | ||
搜索关键词: | 一种 高纯 甲基 纯化 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种高纯甲基磺酸的纯化制备方法,其特征在于,该方法是采用电解槽,通过电解的方法纯化甲基磺酸,所述电解槽包含:阴极,阳极,阴离子交换膜,和阳离子交换膜;所述的阴极材料选用不锈钢、钛、铂、镀铱钛板中的任意一种,所述的阳极材料选用石墨、不锈钢、钛、铂、镀铱钛板中的任意一种,阴离子交换膜邻近阳极,且阳离子交换膜邻近阴极,所述的阴离子交换膜和阳离子交换膜均为单向膜,使得甲基磺酸根负离子单向通过阴离子交换膜进入阳极区域,杂质金属阳离子单向通过阳离子交换膜进入到阴极区域。
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