[发明专利]一种探针自动对准电极测试方法、工具及其装置无效
| 申请号： | 201210589390.1 | 申请日： | 2012-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN103063887A | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 刘坚 | 申请（专利权）人： | 福建合顺微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R31/28 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 蔡学俊 |
| 地址： | 350018 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种探针自动对准电极测试方法、工具及其装置，该方法按以下步骤进行：该工具包括导引板，导引板上开设有多个并列平行的导引槽，相邻的两个导引槽之间形成隔离测试探针的隔板，导引槽的端部具有引导被测体电极进入导引槽内的第一入口，导引槽的侧部具有引导测试探针进入导引槽内的第二入口，其中导引槽是根据被测体电极的标准位置而开设的；根据各个被测体电极的电参数需要，安排单个或多重测试探针；从第一入口直接插入被测体电极，被测体电极在插入过程中被自动矫正至标准位置；移动测试探针，测试探针从第二入口进入导引槽内并准确地接触被测体电极。该装置由多个工具组成。本发明定位简单易行、测试效率高、通用性强且成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 探针 自动 对准 电极 测试 方法 工具 及其 装置 | ||
【主权项】：
一种探针自动对准电极对准测试工具，其特征在于：包括导引板，所述导引板上开设有多个并列平行的导引槽，相邻的两个导引槽之间形成隔离测试探针的隔板，所述导引槽的端部具有引导被测体电极进入导引槽内的第一入口，所述第一入口为喇叭形开口，所述导引槽的侧部具有引导测试探针进入导引槽内的第二入口。
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