[发明专利]电流绝缘的轴承部件及轴承

摘要

滚动元件轴承的直线轴承和滑动轴承的轴承部件，例如选自包括轴承座圈、滚动元件比如锥形滚子、桶状滚子、针状滚子、轴承滚珠和滚动元件笼的组的部件，轴承部件在所述制品的至少一个表面区域上具有通过PVD方法、通过CVD方法或通过PECVD方法应用的具有高硬度和高电流绝缘性能的至少一个层，所述至少一个层包括选自包括Al2O3层、TaO层、SiO2层、包括前述氧化物中的两种或更多种的混合层、包括前述氧化物中的两种或更多种的交替层的多层结构及DLC层比如ta‑C层的组的非传导性氧化物层，存在包括通过ALD方法沉积在具有高硬度和高电流绝缘性能的所述至少一个层上的至少一个材料层的至少一个ALD层，ALD层本身具有高电流绝缘性能且包括选自所述材料的组的材料或层结构。

主权项

一种钢的轴承部件(12)，所述轴承部件在所述轴承部件(12)的至少一个表面区域(110)上具有通过物理气相沉积方法、通过化学气相沉积方法或通过等离子体增强的化学气相沉积方法，但排除原子层沉积方法或等离子体增强的原子层沉积方法应用的具有高硬度和高电流绝缘性能的至少一个层(112；112，112'；112，112'，112)，所述至少一个层(112；112，112'；112，112'，112)包括选自包括Al2O3层、TaxOy层、SixOy层、包括前述氧化物中的两种或更多种的混合层、包括前述氧化物中的两种或更多种的交替层的多层结构和/或类金刚石碳层的材料的组的非传导性氧化物层，存在至少一个原子层沉积层(114)，所述原子层沉积层包括通过原子层沉积方法沉积在具有高硬度和高电流绝缘性能的所述至少一个层上的至少一个材料层，所述原子层沉积层本身具有高电流绝缘性能且包括选自包括Al2O3层、TaxOy层、SixOy层、TiO2层、HfO2层、包括前述氧化物中的两种或更多种的混合层、和包括前述氧化物中的两种或更多种的交替层的多层结构的材料的组的材料或层结构。