[发明专利]一种能自动调压的干式真空泵控制方法有效
| 申请号： | 201210593500.1 | 申请日： | 2012-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN103047144A | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | 郭丽娟;张宁;张军;李良进;王光玉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | F04C28/08 | 分类号： | F04C28/08 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 许宗富 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种能自动调压的干式真空泵控制方法，测量从大气压到真空状态时真空腔体的真空度参数，比较目标真空度参数与已存的真空度参数，读取频率信号，使真空腔体达到频率信号下的真空度，通过循环逼近过程，完成闭环控制。本发明可以根据客户需要的真空度，进行抽速自动调整，达到想要的真空度，并且具有温度，流量，排气压力，功率自动采集系统，可以根据报警设置值进行自我监测并具有自动保护功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 调压 真空泵 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种能自动调压的干式真空泵控制方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：使真空腔体从大气压到真空状态，复合真空计测量此过程中的真空度参数，并记录在CPU控制单元；步骤2：CPU控制单元接收人机界面发出的目标真空度指令，完成目标真空度参数设置，将目标真空度参数与已存的真空度参数进行比较，读取已存真空度参数中接近的频率信号发送给三相交流变频器；步骤3：三相交流变频器通过对三相交流异步电动机转速的改变，控制多级干式真空泵和罗茨真空泵的抽速，使真空腔体达到频率信号下的真空度；步骤4：读取当前真空腔体的真空度参数，再与目标真空度参数进行比较，通过循环逼近过程，使真空腔体达到目标真空度，完成闭环控制。
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