[发明专利]固体密度测量方法和检验靶材密度是否合格的方法有效
| 申请号： | 201210594604.4 | 申请日： | 2012-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN103913399A | 公开（公告）日： | 2014-07-09 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;李小萍 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N9/00 | 分类号： | G01N9/00;G01N9/36 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种固体密度测量方法和检验靶材密度是否合格的方法，其中固体密度测量方法，包括：提供固体试样；测量固体试样在空气中的质量为第一测量质量M0；将固体试样浸没在液体中，测量固体试样在液体中的质量为第二测量质量M2；根据M0+ρ空gV物＝M2+ρ液gV物，获取固体试样的体积；其中，ρ空为空气的密度、ρ液为液体的密度；根据固体试样的体积以及实际质量，获取固体试样的密度，所述实际质量为M0+ρ空gV物或M2+ρ液gV物。本发明还提供一种检验靶材密度是否合格的方法，采用本发明的固体密度测量方法能够提高靶材密度的检测精度，提高溅射工艺中的镀膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 固体 密度 测量方法 检验 是否 合格 方法 | ||
【主权项】：
一种固体密度测量方法，其特征在于，提供固体试样；测量固体试样在空气中的质量为第一测量质量M0；将固体试样浸没在液体中，测量固体试样在液体中的质量为第二测量质量M2；根据M0+ρ空gV物＝M2+ρ液gV物，获取固体试样的体积；其中，ρ空为空气的密度、ρ液为液体的密度；根据固体试样的体积以及实际质量，获取固体试样的密度，所述实际质量为M0+ρ空gV物或M2+ρ液gV物。
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