[实用新型]提高气流均匀性的窗格装置有效
| 申请号： | 201220001638.3 | 申请日： | 2012-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN202417238U | 公开（公告）日： | 2012-09-05 |
| 发明（设计）人： | 罗恩·穆勒;徐俊成 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | E06B7/04 | 分类号： | E06B7/04;B01D46/12 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 韩国胜;王莹 |
| 地址： | 100016 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体制造领域，公开了一种提高半导体洁净室气流均匀性的窗格装置，包括：叠装一起的第一层过滤网和第二层过滤网，及用于固定所述第一层过滤网和第二层过滤网的边缘的框架；所述第一层过滤网的网孔和第二层过滤网的网孔呈交叉排列，所述框架固定安装在洁净室的内壁上，位于风机过滤器的下方。该窗格装置采用网孔呈交叉排列的双层过滤网结构，该窗格结构空气背压低，气流填充效果好，大大地提高了微小颗粒的过滤效果，提高了半导体洁净室内气体流动的均匀性，进而改善了气流中所携带微小颗粒在硅片表面沉积的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 提高 气流 均匀 装置 | ||
【主权项】：
一种提高气流均匀性的窗格装置，其特征在于，包括：叠装一起的第一层过滤网和第二层过滤网，及用于固定所述第一层过滤网和第二层过滤网的边缘的框架；所述第一层过滤网的网孔和第二层过滤网的网孔呈交叉排列，所述框架固定安装在洁净室的内壁上，位于风机过滤器的下方。
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