[实用新型]金属掩模板面形测量系统有效
| 申请号： | 201220010146.0 | 申请日： | 2012-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN202432996U | 公开（公告）日： | 2012-09-12 |
| 发明（设计）人： | 魏志凌;高小平;张炜平 | 申请（专利权）人： | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种金属掩模板面形测量系统，包括：控制系统，通过软件自动完成对所述金属掩模板的测量；测量元件，对所述金属掩模板板面进行测量，并将测量数据及时反馈回给数据处理系统；数据处理系统，根据测试的数据进行模拟，从而得到金属掩膜板的面形；显示器，显示通过数据处理系统处理得到的结果。本实用新型直接通过软件控制测量过程，将测量的数据量加大，使得测量的结果更能真实的反应被测金属掩膜板的表面形貌，同时数据处理软件的使用直接能快速准确的将相关面形结果通过显示器呈现给操作人员，给操作人员一个直接明了的判断依据，方便了操作人员的操作。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 模板 测量 系统 | ||
【主权项】：
一种金属掩模板面形测量系统，其特征在于，包括：控制系统，通过软件自动完成对所述金属掩模板的测量；测量元件，对所述金属掩模板板面进行测量，并将测量数据及时反馈回给数据处理系统；数据处理系统，根据测试的数据进行模拟，从而得到金属掩膜板的面形。
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