[实用新型]一种利用椭球面反射镜测量透射式光栅衍射效率的装置

摘要

本实用新型涉及一种利用椭球面反射镜测量透射式光栅衍射效率的装置，将椭球面反射镜引入到测量系统。椭球面反射镜的特点是将从一个焦点发出的所有光都引导到第二焦点上。照明光波与光栅的交点在椭球面反射镜的第一焦点，探测器的探头固定在椭球面反射镜的第二焦点。这样照明光波以任意角度入射到光栅上的光都可以被探测器探头接收。该系统可以在大角度范围内自动实时的接受衍射光能量。可以对衍射光能量进行全程自动探测，节省了系统空间。有效缩小该测量系统的体积和减轻其重量，同时实现了衍射效率的实时定点测量。此外，只需整体调整椭球面反射镜、光栅入射点及探测器探头位置，即可适用于不同探测角度范围需求，具有很高的通用性。

主权项

一种利用椭球面反射镜测量透射式光栅衍射效率的装置，其特征在于包括激光器(1)、光束分束器(2)、扩束准直镜(9)，椭球面反射镜(6)、第二光功率探测器(7)和第一光功率探测器(8)；在激光器(1)的激光光路上设置光束分束器(2)，光束分束器(2)将激光器(1)发出的光束分为光强比为1∶1的第一光束和第二光束；在第二光束的光路中设置第二光功率探测器(7)测得第二光束的光强；在第一光束的光路中设置扩束准直镜(9)，将其准直为直径小于1mm的平行光束，被测透射式光栅设置在准直光束的光路上，椭球面反射镜(6)设置在被测透射式光栅衍射光束的光路上；其中准直平行光束在被测透射式光栅上的入射点为椭球面反射镜的一个焦点，在椭球面反射镜的另一个焦点处设置第一光功率探测器(8)，测得椭球面反射镜上第二光束的反射光强度；用第一光功率探测器(8)测量得到的光强数值除以第二光功率探测器(7)测量得到的光强的两倍，得到被测透射式光栅的衍射效率。