[实用新型]一种显影机的喷淋显影系统有效
申请号: | 201220015127.7 | 申请日: | 2012-01-13 |
公开(公告)号: | CN202433672U | 公开(公告)日: | 2012-09-12 |
发明(设计)人: | 魏志凌;高小平;潘世弥 | 申请(专利权)人: | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/30 | 分类号: | G03F7/30 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开一种显影机的喷淋显影系统,为单面显影方式,包括有喷管,其中所述喷管为形状较为规则的蛇形状,其排布方向与显影对象的运动方向一致,喷管的喷嘴方向朝上,显影液喷淋方向由下向上。本实用新型显影机的喷淋显影系统可以有效的解决传统显影过程中出现的水池效应,同时特殊的喷管结构可以尽量减少整个喷淋体系中各部位喷淋差异,即溶液喷淋均匀,可以避免局部显影不均的情况。 | ||
搜索关键词: | 一种 显影 喷淋 系统 | ||
【主权项】:
一种显影机的喷淋显影系统,为单面显影方式,包括有喷管,其特征在于:所述喷管为形状较为规则的蛇形状,其排布方向与显影对象的运动方向一致,喷管的喷嘴方向朝上,显影液喷淋方向由下向上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山允升吉光电科技有限公司,未经昆山允升吉光电科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201220015127.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。