[实用新型]蒸镀用沟槽掩模板有效
| 申请号： | 201220015890.X | 申请日： | 2012-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN202576545U | 公开（公告）日： | 2012-12-05 |
| 发明（设计）人： | 魏志凌;高小平;郑庆靓 | 申请（专利权）人： | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/12;H01L51/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种蒸镀用沟槽掩模板，形状为四边形金属板，包括与铟锡氧化物面接触的ITO面和蒸镀面两个面，所述掩模板上具有贯通ITO面和蒸镀面的开口，在ITO面上的开口为网格状，在蒸镀面上的开口为沟槽状，所述槽状开口之间相互间隔且相互平行；ITO面上的开口面积小于在蒸镀面上的开口面积。掩模板具有大开口设计的一定厚度的蒸镀面，保证在不影响蒸镀的情况下，对掩模板进行了加厚稳固的作用；扩大了荫罩的厚度范围，避免由于荫罩过薄导致的板面变形，提高了荫罩使用寿命，取得了较好的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀用 沟槽 模板 | ||
【主权项】：
一种蒸镀用沟槽掩模板，形状为四边形金属板，其特征在于，包括ITO面和蒸镀面两个面，所述掩模板上具有贯通ITO面和蒸镀面的开口，在ITO面上的开口为网格状，在蒸镀面上的开口为沟槽状，所述槽状开口之间相互间隔且相互平行； ITO面上的开口面积小于在蒸镀面上的开口面积。
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