[实用新型]传动缝隙模块及应用其的连续溅射镀膜设备有效
| 申请号： | 201220019429.1 | 申请日： | 2012-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN202492568U | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 周新元;常昱 | 申请（专利权）人： | 上海北玻镀膜技术工业有限公司;上海北玻玻璃技术工业有限公司;洛阳北方玻璃技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/56 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 胡美强;杨东明 |
| 地址： | 201614 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种传动缝隙模块，所述传动缝隙模块包括传动装置和传动腔，所述传动腔设置在传动装置上方，传动腔上方设置有用于隔离空间的封板。本实用新型还公开一种连续溅射镀膜设备，包括至少两个溅射镀膜井位，两个溅射镀膜井位之间设置有传动缝隙模块，所述传动缝隙模块包括传动装置和传动腔，所述传动腔设置在传动装置上方，传动腔上方设置有一封板，所述封板将两个溅射镀膜井位隔离。本实用新型的传动缝隙模块结构简单，操作方便，气体隔离效果好，有效避免了不同井位之间的气体漂移。 | ||
| 搜索关键词： | 传动 缝隙 模块 应用 连续 溅射 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
一种传动缝隙模块，其特征在于，所述传动缝隙模块包括传动装置和传动腔，所述传动腔设置在传动装置上方，传动腔上方设置有用于将两个溅射镀膜井位隔离的封板。
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