[实用新型]一种扫描式测头测量装置

摘要

一种扫描式测头测量装置，属于精密测量领域，适用于微位移量测量以及二维微小尺寸测量，其包括有机械测头部分和光栅信号处理部分；在所述的机械侧头部分中包括有两层平行簧片结构组；所述的两层平行簧片结构相互垂直；使用本实用新型的一种扫描式测头测量装置，结构简单紧凑，体积小重量轻，运动时无摩擦影响。避免了现有扫描测头结构复杂，使用不便的缺点；与目前的采用楼式结构的平行簧片组合结构相比，本装置更加适合水平安装进行测量，不需要重力平衡机构。

主权项

一种扫描式测头测量装置，其包括有机械测头部分和光栅信号处理部分；其特征在于：在所述的机械侧头部分中包括有两层平行簧片结构组；所述的两层平行簧片结构相互垂直；与测头外壳（2）相连有测头Y轴固定端（25），Y轴固定端（25）固接有Y轴光栅读数头（23）；转接板（22）呈L形，其一支端连接有X轴光栅读数头（18），另一支端上固定有Y轴光栅尺(27）,X轴光栅读数头（18）与Y轴光栅尺(27）的位置相互垂直；所述的Y轴光栅读数头（23）正对Y轴光栅尺（27）；两块侧板（24）分别通过弹性簧片（16）与Y轴固定端（25）和转接板（22）相连，两块侧板（24）分别位于所述Y轴光栅尺（27）的两侧且相互平行；X轴移动端（19）上固接有X轴光栅尺（17），X轴光栅尺（17）正对着X轴光栅读数头（18）；两块侧板（24）通过弹性簧片（16）与X轴移动端（19）和转接板（22）的一个支端相连，两块侧板（24）分别位于X轴光栅尺（17）的两侧并相互平行；测针（3）固定于X轴移动端（19）上；所述的X轴光栅读数头（18）与Y轴光栅读数头（23）相互垂直；由X轴光栅读数头（18）和Y轴光栅读数头（23）分别引出光栅线缆（7），光栅线缆（7）接入光栅信号处理部分的光栅信号接口（15）。