[实用新型]一种硅基薄膜生产装置

摘要

本实用新型公开了一种硅基薄膜生产装置，其特征在于由加热段、真空过渡段1、沉积段、真空过渡段2、冷却段组成，自动闸板阀装于各工作室之间，加热段和冷却段为非真空段，沉积段由数个沉积模块构成，每个沉积模块均由沉积室、真空过渡室、传动装置、位置测量装置、真空获得装置、配气装置和排气装置组成，两个沉积室对称或不对称地分布在真空过渡室的两侧，每一个沉积室分别与一台工艺干泵相连，沉积室和真空过渡室共用一套真空获得装置，沉积模块两端均设有尺寸和形状完全相同或相互配合的连接装置，通过连接装置将数个平行排列的沉积模块连接起来形成一个连续镀膜的沉积段，本装置可以根据镀膜工艺和产能设计的不同要求增减沉积模块的数量，其适用范围广，生产效率高，维护维修方便。

主权项

一种硅基薄膜生产装置，其特征在于由加热段、真空过渡段、沉积段、真空过渡段、冷却段组成，自动闸板阀装于各工作室之间，加热段和冷却段为非真空段，加热段装置采用连续梯度加热方法加热，可梯度的将基片加热至设定温度，沉积段由至少两个沉积模块构成，每个沉积模块均由沉积室、真空过渡室、传动装置、位置测量装置、真空获得装置、配气装置和排气装置组成，沉积室分布在真空过渡室的两侧，每一个沉积室分别与一台工艺干泵相连，沉积室和真空过渡室共用一套真空获得装置，沉积模块两端均设有连接装置，连接装置的尺寸和形状完全相同或相互配合的，通过连接装置将平行排列的沉积模块连接起来形成一个连续镀膜的沉积段。