[实用新型]一种姿态感应传感器芯片的测试台有效
| 申请号： | 201220026241.X | 申请日： | 2012-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN202471910U | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 朱玉萍;徐鹏辉 | 申请（专利权）人： | 嘉兴景焱智能装备技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 314100 浙江省嘉善县大*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型是一种姿态感应传感器芯片的测试台。旨在提供一种结构简单、通用性好、投入成本低、测试效率高的姿态感应传感器芯片的测试台。它包括有主台面，在主台面上安装有供放置晶圆并可作周向旋转的载晶台，在载晶台上放置有真空吸盘，在载晶台对面安装有光源和CCD相机，载晶台相对于光源和CCD相机有可左右移动的X直线轴和上下移动的Y直线轴以及可前后运动的Z直线轴，在Z直线轴上安装测试用的可以周向转动的探针卡。应用此姿态感应传感器芯片的测试台可以大大节省测试的时间，降低测试成本，简化测试程序，提高测试过程的稳定性和测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 姿态 感应 传感器 芯片 测试 | ||
【主权项】：
一种姿态感应传感器芯片的测试台，包括有主台面，其特征是在主台面上安装有供放置晶圆并可作周向旋转的载晶台，在载晶台上放置有真空吸盘，在载晶台对面安装有光源和CCD相机，载晶台相对于光源和CCD相机有可左右移动的X直线轴和上下移动的Y直线轴以及可前后运动的Z直线轴，在Z直线轴上安装测试用的可以周向转动的探针卡。
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